（要闻）专注“微”技术成就大科研

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日前，记者获悉，陕西益都仪表自主研发的首款层流质量流量计系列产品通过了中国计量科学研究院计量器具型式评定试验，获得了国内首张层流质量流量计计量器具型式认可资格证书(简称cpa证书)。其产品精度达到国家认可的最高水平，即1.0级，重复性达到0.1%，响应时间为0.01s，多项技术参数处于国际领先水平。

长期以来，微量气体和液体的精确流量测量和控制一直被西方发达国家垄断。这项技术是许多高端制造领域的重要核心技术，包括半导体、生物制药和新材料。陕西益都智能科技有限公司层流质量流量计的研发，是由公司博士、硕士、联合国顶尖大学专家学者等组成的高素质创业骨干组成的研发团队。面对来自国外的技术封锁，自2011年以来一直坚持流体测控领域，自主创新，为尖端产品不懈努力。

坚定不移地挑战世界水平

2011年，以“80后”为主力的益都R&D团队开始挑战国外先进技术。当时，从国外进口的设备是世界上唯一的，国内只有几家制造商能够生产一些精度低、重复性差的模拟产品，这些产品远非尖端，只能与低端行业相匹配。由于缺乏核心传感器技术，即使将国外设备拆解，也因不了解原理而难以突破。无数事实表明，模仿国外先进产品是不可能的。

总工程师张凯介绍，高端精密仪器是技术密集型产品。只有通过自主创新，遵循“概念论证-关键技术验证-方案验证-原理样机-工程样机-产品样机-产品”的技术路线，才能真正掌握技术，开发出精良的产品。

这条技术路线费时、费钱、有风险，普通人难以想象。在微流量测量领域，摆在R&D团队面前的有两个技术方向:一是基于传热原理的热式质量流量计，在全球大部分市场主要被欧美日的六七家公司占据，技术成熟度高。但是国内还没有掌握热传感器的技术核心；另一种是基于哈根-泊肃叶定理的层流质量流量计，其中核心层流传感器的研发技术难度更大，制造工艺复杂，这使得生产热式质量流量计的国际顶级制造商望而却步。几十年来，世界上只有一家美国公司在层流技术上取得了重大突破，但要实现大规模商业应用，还有很长的路要走。

杜毅团队回顾了当时的情况，考虑到热技术已经成熟，空房间的开发已经饱和。经过充分调研，这群80后“新生牛犊”选择了技术发展空间广阔、技术门槛较高的更先进的层流质量流量计空

攻克核心，成就世界级

可以说一个国家的微流体测控水平决定了一个国家的高端制造水平。在微流量测控领域，测量范围通常为0.0001ml/s-100000ml/s，量程超过9个数量级，这意味着从一滴水的300%到一桶油，一秒钟内流过流量计的体积可以精确测量，每次精确测量完成的时间小于0.01s，两次连续测量的相对误差小于千分之一，技术难度可想而知。

益都团队用了7年的时间苦心研究，从2013年第一台层流传感器原理验证机的诞生，到2014年第一代控制面板原理验证机的研发，到2015年底第一台层流质量流量计工程样机的成功研发，直到2017年6月第一代层流质量流量计问世，成功通过了国家计量院的型式评价认证。“没有现成的经验可以借鉴。所有的工作都要从零开始，一遍又一遍的设计，一遍又一遍的测试，失败，重新开始，不完美，再改进。”张凯表示，益都团队坚持不懈，啃下硬骨头，掌握了这一核心技术，做出了今天的产品，为此感到骄傲。

该技术目前已获得两项国家发明专利，在全球pct搜索中属新颖。在国内，只有益都公司掌握了一般的层流测控技术，其产品得到了国内最高权威的验证，达到了世界顶级水平。

尖端产品实现“中国智力创造”

Ease Instrument成功研发的层流流量计和控制器，不仅可以测量气体和液体的质量流量，还可以实现精确控制，是国内自主研发的第一款层流原理数字化产品。经过多次技术改进，产品日趋成熟，可在-20℃至70℃正常使用。准确度控制在1.0以内，重复性为0.1%，响应时间达到0.01s。

关注用户过程控制。在300多个关键半导体工艺中，光刻工艺、气相沉积工艺、单晶生产工艺等70%以上的工艺点与微流量测量有关；在制造石墨烯等新材料的过程中，最常用的方法是增强等离子体的化学气相沉积，还需要精确分配气体和液体；作为未来航天发展方向，等离子发动机在制造过程和地面试验中需要精确测量小于1ml/min的稀有气体质量流量，这是等离子发动机稳定运行的关键试验过程。

近年来，全球微流量测量业务以每年30%的速度快速增长。随着以芯片制造、生物医学、新材料、3d打印、微纳制造为代表的新兴高端制造业的快速发展，更精细的制造工艺对微流量测控仪器提出了更严格的要求。在我国发展高端制造业的背景下，易氏仪表专注于流体测控领域，解决了微流量测控的世界性难题。

据了解，益都自主研发的层流质量流量计及控制器系列产品具有精度高、响应快、线性度好、零点漂移小的特点。它们是数字产品，可与计算机连接，支持rs485数字信号，兼容4~20ma、0~5v模拟信号输出，配有彩色液晶显示器，多参数显示和输出:温度、压力、流量等。，内置气压和温度(密度)补偿。它可以校准各种内置气体和液体，所有操作都可以通过触摸屏操作实现，无需借助计算机或其他额外的软件，因此广泛应用于各种流量测量和控制场合。

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